发布日期：2024-09-22 07:25    点击次数：70

编者荐语：

在集成电路国产化的海浪中，凯世通以迥殊的立异实力和坚决的自主研发精神，顺利研发并量产了国内当先的系列集成电路离子注入机家具，2020年于今斩获国内主流晶圆厂客户离子注入机批量采购订单近60台，彰显了国产高端装备的优质竞争力。行为上市公司万业企业旗下的妍丽“芯”星，凯世通不仅达成了从“0到1”的浮松，更在“1到N”的谈路上加速驱驰，为国产集成电路产业的安全褂讪发展孝敬了首要力量。近期，万业企业总裁兼旗下凯世通董事长李勇军博士罗致东谈主民日报专访，先容了凯世通在离子注入机边界潜“芯”发展谈路上的探索与浮松。

9月，暑气照旧蒸腾。位于浦东金桥的上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称“凯世通”）基地内，客户晶圆厂产线、研发实验室、开拓拼装调试洁净车间里的全体科研东谈主员都在弥留清贫着。他们研发分娩的集成电路离子注入机整机取得顺利，并于近期收成了3家国内12英寸晶圆厂客户的采购订单，包括两家新客户新订单与一家首要客户相易订单。

“凯世通行为国内高端集成电路离子注入机当先企业，研发分娩的粗劣大束流离子注入机家具对标国际先进机型，率先达成了国产化浮松，部分方向已达到国际先进水平。”万业企业总裁兼旗下凯世通董事长李勇军博士先容。

集成电路离子注入机是芯片制造的中枢开拓之一，决定芯片关节的电学性能，国产化率仅约5%，是产业链的卡点堵点。凯世通自2020年拜托首台开拓以来，箝制现在已收成11家国内主流晶圆厂客户离子注入机批量采购订单近60台，50%以上为相易订单，有劲地保险了国内集成电路产业的安全褂讪发展。

从0到1，从1到N，凯世通在集成电路离子注入机国产化的谈路上，用四年时间追逐海外五六十年的成长之路。如今，团队正在加速国产集成电路中枢装备的自主可控与产业化进度。

油门踩到底，自主立异浮松中枢本领

走进位于上海浦东的凯世通金桥基地洁净室，一台台集成电路离子注入机正在研发、测试、拼装，研发东谈主员操作箝制面板、监控开拓的起头，继续窜改缓助；尚未拼装完成的开拓里面数千品类、一万多个精密零部件彰廓清开拓的高难度与复杂性。

凯世通金桥基地洁净室责任现场。凯世通供图

离子注入机是《国度集成电路产业发展推动纲要》明确条件要点发展的三种装备之一，系统复杂、研发难度高，每一次离子注入工艺的成败无法立即锻练，需要完成芯片制造后才智考据，周期长达数月，这关于任何一家晶圆厂都是极大考验，由此对离子注入机厂商也提倡了严苛条件。

“高技术企业主如果靠研发与立异。咱们的分娩不复杂，主如果拼装测试拜托整机装备，主要元气心灵都放在研发上，尤其是在咱们的家具举座离国际先进水平还有追逐空间的情况下，更要靠研发去奋发自强。”李勇军先容。

在方进取，凯世通最早对准了市集需求最大、本领门槛最高、国产替代需求最要紧的粗劣大束流离子注入机的研发与产业化。李勇军示意，“由于离子间存在同性相斥的物理本性，粗劣大束流离子注入机需要克服极点粗劣量与大束流离子之间的矛盾，同期知足高精确度、低颗粒混浊的条件，具有极高的本领难度。”

为此，研发团队反复探索、巨额次修改考据，追根穷源，从底层中枢本领浮松作念起，先后攻克了大束流离子源、超粗劣离子束传输与离子束光学、晶圆同中心扫描、大腔室离子注入平台等多项关节本领难题。在此基础上立异性地提倡“通用平台+关节本领模块化+愚弄集成”三合一架构，造成了可复用本认知线，为系列高端离子注入机家具的研发愚弄打造了引颈性立异平台。

2020年，凯世通研发出洋内首台粗劣大束流离子注入机，拜托国内要点晶圆厂产线并通过考据与验收，率先达成了国产粗劣大束流离子注入机从“0-1”的浮松。

而后，凯世通再接再厉，接踵研发并量产了旧例粗劣大束流、超低温粗劣大束流、高能机等系列离子注入机家具，助力国内集成电路高端装备产业化加速推动。

不计代价过问，砸出离子注入机

高技术初创企业若何追逐国际先进水平？李勇军直言：“要靠时间积存和不计代价的过问。”

据先容，控股股东上市公司万业企业在2018年收购凯世通明，坚决不移推动其聚焦集成电路离子注入机研发与产业化，不计资本、不计代价地复旧。现在万业企业对凯世通的东谈主才培养和研发开销等过问已累计超越10亿元，凯世通职工从收购时的91东谈主壮大到310东谈主，科研东谈主员占比近70%。凯世通已开发了一支由顶尖离子注入开拓巨匠引颈的有梯队、有线索、多元化的本领立异团队，屡次承担国度及上海市科技专项，先后荣获上海市科技逾越二等奖、北京市科技逾越一等奖、国度级专精特新“小巨东谈主”企业等荣誉。

“除了投钱投东谈主，还有凯世通东谈主无私的过问。”李勇军共享了一个故事：疫情时间，研发团队将家何在客户晶圆厂，信守一线岗亭，还将研发和开拓干事搬到了热气腾腾的产线上。“公司首席本领官带头和家属从上海搬到北京客户端永恒驻扎，大年三十仍守在产线上起头的凯世通离子注入机开拓傍边，就这么畅达渡过了两个春节。举座研发团队亦然7x24小时地搞研发。”恰是这种精神成为凯世通快速追逐国际顶端本领的首要能源。

迈向家具线全秘籍，发达产业“链主”功能

“现时是凯世通比拟苦的阶段，研发过问砸得多，但咱们与国际先进的差距不断削弱，原有家具质能不断缓助，新家具线不断补皆，行将达周密秘籍。”李勇军示意。

本年3月，凯世通自主研发分娩的新品CIS粗劣大束流离子注入机已搬入客户产线，成为国内首家赢得CIS粗劣大束流离子注入机订单的国产开拓供应商。

现在凯世通正在积极对标国内集成电路产业发展新需求新愚弄，对准前沿集成电路工艺演进趋势，把捏国产化机遇，推动包括SOI氢离子注入机、中束流离子注入机、超高能离子注入机等特质工艺开拓落地，并加速面向特质工艺的SiC化合物半导体离子注入机的研发与愚弄。

整机装备的浮松与产业链的协同发展息息相关，凯世通在其中演出了不行或缺的“链主”变装，积极推动着零部件国产化进度。值得烦嚣的是开yun体育网，多个关节零部件方式已获胜吐花效果。正如李勇军博士所言，凯世通竭力于通过协同立异、产学研深度引诱，引颈上游零部件企业达成一体化发展，助力卑劣用户大意原土芯片制造畅达性的挑战。历程不断发奋，一个具有韧性、多元化特征的供应链体系初步造成，国产离子注入机供应链自主可控行将成为履行。改日，凯世通将链接深耕离子注入机研发立异边界，发奋成为高端装备制造边界的一张柬帖。

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